手持式LIBS激光誘導光譜儀利用高能量聚焦脈沖激光光束激發樣品表面,對產生的原子光譜進行分析得到對應元素成分及含量。
自從1960年第一臺紅寶石激光器的發明為原子光譜分析注入新鮮血液之后,類似于火花源的激光光束聚焦擊穿現象即見諸文獻報道。1962年?Jarrell-Ash的Brech發表第一篇關于用激光產生等離子體進行分析的文章,標志著激光燒蝕分析技術的誕生。1964年,得益于激光器Q開關脈沖技術,使得激光燒蝕無需通過輔助電極放電,直接通過激光產生等離子體進行分析,這也是今天LIBS的雛形。至20世紀80年代,美國Los Alamos實驗室利用激光等離子體的光譜信息實現了對于物質元素信息的測量,從而將該技術正式命名為LIBS (Laser Induced Breakdown Spectroscopy)。